마이크로 나노소자 연구실

  • 지도교원:박재형

  • 구성원: 교원(교직원) 1명

  • 홈페이지:바로가기

  • 전화번호:031-8005-3613

  • 위치:죽전캠퍼스 제2공학관 4층 마이크로/나노소자연구실 418호실

구성원 소개

지도교수: 박재형 공과대학 융합반도체공학과

연구분야

  • Wafer level 패키징
  • MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 센서 및 엑츄에이터
  • 마이크로 탐침
  • 미세유체 시스템을 이용한 바이오 센싱 시스템 연구
  • LIDAR용 MEMS mirror

연구내용 및 보유기술

<MEMS mirror>
Chung, S. H., Lee, S. K., Ji, C. H., & Park, J. H. (2019). Vacuum packaged electromagnetic 2D scanning micromirror. Sensors and Actuators A: Physical, 290, 147-155.
Kim, J. H., Jeong, H. S., Lee, S. K., Ji, C. H., & Park, J. H. (2017). Electromagnetically actuated biaxial scanning micromirror fabricated with silicon on glass wafer. Microsystem Technologies, 23(6), 2075-2085.
<Micro tip>
Kim, C. Y., Nam, K. T., Lee, S. K., & Park, J. H. (2019). Fabrication and Measurement of Microtip Electrode Array Integrated With Self-Aligned Hemispherical Cell Trapping PDMS Template. IEEE Sensors Journal, 19(20), 9105-9112.
Maeng, B. R., Nam, K. T., Lee, S. K., & Park, J. H. (2016). Fabrication and measurement of microtip electrode array with self-aligned integrated dual conductive electrodes. Sensors and Actuators B: Chemical, 237, 1015-1020.
<미세유체 시스템>
Lee, J. H., Lee, S. K., Kim, J. H., & Park, J. H. (2019). Separation of particles with bacterial size range using the control of sheath flow ratio in spiral microfluidic channel. Sensors and Actuators A: Physical, 286, 211-219.
Nam, Y. H., Lee, S. K., Kim, J. H., & Park, J. H. (2019). PDMS membrane filter with nano-slit array fabricated using three-dimensional silicon mold for the concentration of particles with bacterial size range. Microelectronic Engineering, 215, 111008.