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박재형 | 공과대학 전자전기공학부 (제2공학관)

  • 직급:
    교수

교수소개

1997년 서울대학교 전기공학부를 졸업한 후 동대학원에서 미세 전극과 유전전기영동현상(DEP: dielectrophoresis)을 이용한 마이크로 입자의 조작 및 분리에 관한 연구로 1999년 석사학위를 취득하였으며 동대학원에서 마이크로 엑추에이터를 이용한 RF MEMS 스위치에 관한 연구로 2002년 박사학위를 취득하였다. 2002년부터 2년간 서울대학교 뉴미디어공동연구소 및 반도체공동연구소에서 연구원으로 근무하였다.
2004년부터 2006년 8월까지는 LG 전자기술원 소자재료연구소에서 근무하였으며 이동 통신 단말기에 적용되는 마이크로 센서 및 엑추에이터와 관련된 연구를 수행하였다. 2006년 9월부터 2009년 8월까지 3년간 이화여자대학교에서 MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems) 소자 연구를 수행하였으며 마이크로미러 어레이를 개발하여 인공 위성 탑재체 우주망원경에 적용하였다.
2009년 9월 본교 전자전기공학부 교수로 임용된 후 마이크로 센서, 엑추에이터 및 패키징, 단일 세포 기반의 고효율 연료전지 개발 등의 연구과제를 수행하고 있으며 기초반도체공학, 전기전자재료및물성, 반도체소자, 초미세시스템응용 등의 과목들을 강의하고 있다.

학력

  • [1997] 학사 서울대학교 전기공학부 전기전자공학
  • [1999] 석사 서울대학교 전기ㆍ컴퓨터공학부 MEMS
  • [2002] 박사 서울대학교 전기ㆍ컴퓨터공학부 MEMS

주요연구분야

Wafer level 패키징
마이크로 센서
마이크로 엑츄에이터 설계 및 제작
초미세 전기기계 시스템

컨설팅 가능 분야

초미세 전기기계 시스템 설계 및 제작
반도체 공정
마이크로 센서 설계 및 제작

연구업적

  • 연구보고서[20120530] 단일세포 기반 고효율 자기유지형 미생물 염료 전지를 이용한 청정에너지 생산 기술 개발(2/2)
  • 일반논문[20220725] Fiber optic localized surface plasmon resonance hydrogen sensor based on gold nanoparticles capped with palladium
  • 일반논문[20220622] High-performance biosensor using a sandwich assay via antibody-conjugated gold nanoparticles and fiber-optic localized surface plasmon resonance
  • 일반논문[20220527] Fiber Optic Plasmonic Sensors Based on Nanodome Arrays withNanogaps br
  • 일반논문[20211205] Performance improvement of a glucose sensor based on fiber optic localized surface plasmon resonance and anti-aggregation of the non-enzymatic receptor
  • 일반논문[20211120] Detection limit enhancement of fiber optic localized surface plasmon resonance biosensor by increased scattering efficiency and reduced background signal
  • 일반논문[20211115] Fabrication and measurement of fiber optic localized surface plasmon resonance sensor based on gold nanoparticle dimer
  • 일반논문[20211101] Fabrication and measurement of a fiber optic localized surface plasmon resonance sensor chip for molecular diagnostics
  • 일반논문[20210806] Design and validation of fiber optic localized surface plasmon resonance sensor for thyroglobulin immunoassay with high sensitivity and rapid detection
  • 일반논문[20210614] Fabrication and Measurement of Fiber Optic Localized Surface Plasmon Resonance Sensor Based on Hybrid Structure of Dielectric Thin Film and Bilayered Gold Nanoparticles
  • 일반논문[20210601] Multivalent Nanosheet Antibody Mimics for Selective Microbial Recognition and Inactivation
  • 일반논문[20201215] Fabrication of Glass Micropipette Device Using Reflow Processes and Its Integration With Microfluidic Channels for Patch Clamp Recording of Cell
  • 일반논문[20201005] Design optimization of a 6.4 mm-diameter electromagnetic 2D scanning micromirror
  • 일반논문[20201001] Comparison of measurement protocol for biosensors using fiber optic localized surface plasmon resonance sensor
  • 일반논문[20200901] Fabrication and Measurement of Fiber Optic Surface Plasmon Resonance Sensor Based on Polymer Microtip and Gold Nanoparticles Composite
  • 일반논문[20191201] Fabrication and measurement of optical waveguide sensor based on localized surface plasmon resonance
  • 일반논문[20191101] Selective area hydrothermal growth of ZnO nanowires for application to electrochemical sensor
  • 일반논문[20191030] Fiber optic sensor based on ZnO nanowires decorated by Au nanoparticles for improved plasmonic biosensor
  • 일반논문[20191016] Improvement of fiber optic based localized surface plasmon resonance sensor by optical fiber surface etching and Au capping
  • 일반논문[20191015] Fabrication and Measurement of Microtip Electrode Array Integrated With Self-Aligned Hemispherical Cell Trapping PDMS Template
  • 일반논문[20190815] Fabrication of hollow microtip electrode array with variable diameter using self-aligned etching process
  • 일반논문[20190715] Microfluidic platform for cell analysis using through-polydimethylsiloxane micro-tip electrode array
  • 일반논문[20190715] PDMS membrane filter with nano-slit array fabricated using three-dimensional silicon mold for the concentration of particles with bacterial size range
  • 일반논문[20190701] Microprobe electrode array with individual interconnects through substrate using silicon through-glass via
  • 일반논문[20190601] Improved stability of gold nanoparticles on the optical fiber and their application to refractive index sensor based on localized surface plasmon resonance
  • 일반논문[20190501] Vacuum packaged electromagnetic 2D scanning micromirror
  • 일반논문[20190312] LIDAR system with electromagnetic two-axis scanning micromirror based on indirect time-of-flight method
  • 일반논문[20190201] Localized surface plasmon resonance biosensor using nanopatterned gold particles on the surface of an optical fiber
  • 일반논문[20190201] Separation of particles with bacterial size range using the control of sheath flow ratio in spiral microfluidic channel
  • 일반논문[20190101] A Low Frequency Vibration Energy Harvester Using ZnO Nanowires on Elastic Interdigitated Electrodes
  • 일반논문[20181201] Electromagnetic 2D scanning micromirror for high definition laser projection displays
  • 일반논문[20181110] Real-time detection of prostate-specific antigens using a highly reliable fiber-optic localized surface plasmon resonance sensor combined with micro fluidic channel
  • 일반논문[20180901] Single-mask fabrication of micro-probe electrode array with various tip heights and sharpness using isotropic and anisotropic etching
  • 일반논문[20180615] High-reflectivity electromagnetic two-axis microscanner using dielectric multi-layer reflective surface
  • 일반논문[20180301] Fabrication and measurement of microtip-array-based LSPR sensor using bundle fiber
  • 일반논문[20170601] Novel microbial photobioelectrochemical cell using an invasive ultramicroelectrode array and a microfluidic chamber
  • 일반논문[20170601] Electromagnetically actuated biaxial scanning micromirror fabricated with silicon on glass wafer
  • 일반논문[20170301] Fabrication and characterization of micro dissolved oxygen sensor-activated on demand using electrolysis
  • 일반논문[20170201] Fabrication of Localized Surface Plasmon Resonance Sensor Based on Optical Fiber and Micro Fluidic Channel
  • 일반논문[20160115] Fabrication and measurement of microtip electrode array with self-aligned integrated dual conductive electrodes
  • 일반논문[20151215] Fabrication and measurement of photosynthetic microbial fuel cell using Nafion-casted membrane electrode assembly
  • 일반논문[20151215] Preparation and characterization of nanostructured SnO2 thick films on flexible polyimide substrates for CO gas sensor application
  • 일반논문[20151120] Analysis and optimization of antibody immobilization for immunoassay using fiber-optic localized surface plasmon resonance biosensors
  • 일반논문[20150617] Electromagnetic biaxial microscanner with mechanical amplification at resonance
  • 일반논문[20150401] High-density through-wafer copper via array in insulating glass mold using reflow process
  • 일반논문[20141201] Polydimethylsiloxane Template-based Size-selective Assembly of Single Biological Cells
  • 일반논문[20140501] Superhydrophobic properties of a hierarchical structure using a silicon micro-tip array decorated with ZnO nanowires
  • 일반논문[20131101] Conductive microtip electrode array with variable aspect ratio using combination process of reactive ion etching
  • 일반논문[20131030] Microfabricated environmental barrier using ZnO nanowire on metal mesh
  • 일반논문[20130821] Electrochemical sensing of high density photosynthetic cells using a microfluidic chip
  • 일반논문[20130624] Through-glass copper via using the glass reflow and seedless electroplating processes for wafer-level RF MEMS packaging
  • 일반논문[20130115] Real-time label-free immunoassay of interferon-gamma and prostate-specific antigen using a Fiber-Optic Localized Surface Plasmon Resonance sensor
  • 일반논문[20130107] Fiber-optic refractive index sensor based on the cone-based round structure
  • 일반논문[20121015] Analysis of fiber-optic localized surface plasmon resonance sensor by controlling formation of gold nanoparticles and its bio-application
  • 일반논문[20120901] Design and fabrication of preshaped ionic polymer metal composite gripper by thermal treatment process
  • 일반논문[20120901] Effect of Thermal Treatment on Preshaped Ionic Polymer Metal Composite (IPMC) Actuators
  • 일반논문[20120816] Fabrication of void-free copper filled through-glass-via for wafer-level RF MEMS packaging
  • 일반논문[20111214] A Study on the Crystalline Orientation and Electromechanical Properties of PZT and Doped PZT Thin Films by Using the Sol-Gel Method
  • 일반논문[20111201] Fabrication of fiber-optic localized surface plasmon resonance sensor and its application to detect antibody-antigen reaction of interferon-gamma
  • 일반논문[20110901] Numerical analysis and demonstration of a 2-DOF large-size micromirror with sloped electrodes
  • 일반논문[20110113] A study on the piezoelectric properties of PZT and doped PZT thin films by sol-gel method
  • 일반논문[20100901] Electrostatically driven low-voltage micromechanical RF switches using robust single-crystal silicon actuators
  • 일반논문[20100801] Effects of surface density and size of gold nanoparticles in a fiber-optic localized surface plasmon resonance sensor and its application to peptide detection
  • 일반논문[20100501] Program of transient UV event research at Tatiana-2 satellite
  • 일반논문[20090531] Development of Silicon Pad Sensors for a Silicon-Tungsten Calorimeter in High Energy Heavy Ion Experiment
  • 일반논문[20090430] Design and fabrication of a self-aligned parallel-plate-type silicon micromirror minimizing the effect of misalignment
  • 일반논문[20090331] MEMS micromirror characterization in space environments
  • 일반논문[20090228] High fill-factor micromirror array using a self-aligned vertical comb drive actuator with two rotational axes
  • 일반논문[20090131] A tunable planar inverted-F antenna with an RF MEMS switch for the correction of impedance mismatch due to human hand effects
  • 일반논문[20090131] Experimental and theoretical analysis of DEP-based particle deflection for the separation of protein-bound particles
  • 일반논문[20081231] Obscura telescope with a MEMS micromirror array for space observation of transient luminous phenomena or fast-moving objects
  • 일반논문[20081023] Tracking control of electrostatically actuated micromirror with closed-loop feedback circuit
  • 일반논문[20080831] Investigation of Similar and Dissimilar Metal Contacts for Reliable Radio Frequency Micorelectromechanical Switches
  • 일반논문[20080401] A telescope for observation from space of extreme lightnings in the upper atmosphere
  • 일반논문[20080301] A low-drift, open-loop controlled, single crystalline silicon micromirror with floating field-limiting shields
  • 일반논문[20080201] Design and simulation of a silicon photomultiplier array for space experiments
  • 일반논문[20080201] Design, fabrication and electrical tests of pad sensors for the electromagnetic calorimeter of the future linear collider experiment
  • 일반논문[20070601] Improvement of Maskless Photolithography of Bio Pattern with Single Crystalline Silicon Micromirror Array
  • 일반논문[20070501] Development of shunt type ohmic RF MEMS switches actuated by piezoelectric cantilever
  • 지식재산권[20201229] POSS-마이크로 니들 및 이를 포함하는 마이크로 니들 패치
  • 지식재산권[20201222] 피펫 형태의 패치 클램프, 패치 클램프를 포함하는 측정 장치 및 패치 클램프의 제작 방법
  • 지식재산권[20200904] Micro probe array device and manufacturing method of the device
  • 지식재산권[20200904] 이중 전극을 포함하는 미세 탐침 어레이 장치 및 제조 방법
  • 지식재산권[20200904] 유연 기판을 가지는 미세 탐침 어레이 장치 및 제조 방법
  • 지식재산권[20200904] 다른 높이의 전극들을 포함하는 미세 탐침 어레이 장치 및 제조 방법
  • 지식재산권[20191127] SURFACE PLASMON RESONANCE SENSOR DEVICE USING MICROFLUIDIC CHANNEL AND SYSTEM COMPRISING THE SAME
  • 지식재산권[20191127] METHOD OF CORRECTING SIGNALS OF SURFACE PLASMON RESONANCE SENSOR
  • 지식재산권[20190910] METHOD OF TESTING SURFACE PLASMON RESONANCE SENSOR
  • 지식재산권[20190808] PATCH CLAMP OF PIPETTE TYPE, MEASURING DEVICE HAVING THE PATCH CLAMP, AND MANUFACTURING METHOD OF THE PATCH CLAMP
  • 지식재산권[20190808] SURFACE PLASMON RESONANCE SENSOR COMBINED WITH NANOSTRUCTURE
  • 지식재산권[20190806] 나노 구조물이 결합된 표면 플라즈몬 공명 센서의 테스트 방법, 그리고 표면 플라즈몬 공명 센서의 출력 신호 보정 방법
  • 지식재산권[20190806] 나노 구조물과 결합된 표면 플라즈몬 공명 센서
  • 지식재산권[20190806] 표면 플라즈몬 공명 센서를 이용한 연속 측정 장치
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  • 지식재산권[20190319] 마이크로 패치 클램프 시스템 및 그의 제조 방법
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  • 지식재산권[20180409] 나노 필터 및 유체 소자 제조 방법(MANUFACTURING METHOD OF NANO FILTER AND FLUIDICS ELEMENT)
  • 지식재산권[20180404] 미세유체 채널을 이용한 표면플라즈몬공명 센서 장치 및 센서 유닛 제조방법
  • 지식재산권[20180219] 포획 템플릿을 가지는 미세 탐침 전극 소자 및 그 제조방법
  • 지식재산권[20170418] 마이크로 패치 클램프 시스템 및 그의 제조 방법
  • 지식재산권[20170331] 용존산소 측정 센서, 그 제조방법, 및 용존산소 측정 장치(DISSOLVED OXYGEN MEASURING SENSOR, MANUFACTURING METHOD THEREOF AND DISSOLVED OXYGEN MEASURING APPARATUS)
  • 지식재산권[20170307] SURFACE PLASMON RESONANCE SENSOR DEVICE USING MICROFLUIDIC CHANNEL AND SYSTEM COMPRISING THE SAME
  • 지식재산권[20170307] METHOD OF TESTING SURFACE PLASMON RESONANCE SENSOR
  • 지식재산권[20170307] METHOD OF CORRECTING SIGNALS OF SURFACE PLASMON RESONANCE SENSOR
  • 지식재산권[20170120] 용존산소 계측장치
  • 지식재산권[20170103] 미생물 연로전지 및 그 제조 방법
  • 지식재산권[20161212] 표면플라즈몬공명 센서의 테스트 방법
  • 지식재산권[20161212] 표면플라즈몬공명 센서의 신호 보정 방법
  • 지식재산권[20161212] 미세유체 채널을 이용한 표면플라즈몬공명 센서 장치 및 그를 포함하는 시스템
  • 지식재산권[20161205] 정자기력 구동 스캐닝 마이크로 미러
  • 지식재산권[20161107] 나노 필터를 포함하는 유체 소자 및 그 제조 방법
  • 지식재산권[20160830] Microbial fuel cell comprising a microprobe array
  • 지식재산권[20160503] 전자기력 구동 스캐닝 마이크로 미러 장치 및 그 제조방법
  • 지식재산권[20160429] 마이크로 팁 전극체 및 이의 제조방법(Micro-Tip Electrode and Method of forming the same)
  • 지식재산권[20160401] 마이크로 탐침 어레이 및 이의 제조방법(Microtip Array and Method of forming the same)
  • 지식재산권[20150327] 마이크로 탐침 구조물 및 이의 제조방법
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  • 지식재산권[20140328] 용존산소 계측장치
  • 지식재산권[20140312] 마이크로 팁 구조물 및 이의 제조방법(Micro-Tip Structure and Method of manufacturing the same)
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  • 지식재산권[20131120] 표면 플라즈몬 산란 및 공명 검출에 기반한 생체 물질 측정 시스템
  • 지식재산권[20131029] Through substrate structure, device package having the same, and methods for manufacturing the same
  • 지식재산권[20131024] 기판 관통 구조물 및 이의 제조방법, 기판 관통 구조물을 포함하는 소자의 패키지 및 이의 제조 방법
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  • 지식재산권[20130829] 산화아연 나노로드를 이용한 금속 나노구조체 제조방법 및 그 응용(Method for fabricating metal nanostructures using ZnO nanorod and its application)
  • 지식재산권[20130430] 미생물 연료전지 및 그 제조방법
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  • 지식재산권[20130304] 미세 탐침 어레이를 구비한 미생물 연료전지(Microbial fuel cell having micro probe array)
  • 지식재산권[20130130] 광섬유 기반 LSPR 및 SERS신호의 동시 측정 센서 시스템(Simultaneous measuring sensor system of LSPR and SERS signal based on optical fiber)
  • 지식재산권[20120704] 촉각 제시 소자
  • 지식재산권[20120529] Optical module for observing event or object
  • 지식재산권[20120502] 산화아연 나노로드를 이용한 금속 나노구조체 제조방법 및 그 응용
  • 지식재산권[20120308] 표면 플라즈몬 산란 및 공명 검출에 기반한 생체 물질 측정 시스템
  • 지식재산권[20120223] 미생물 연료전지
  • 지식재산권[20111214] 마이크로 팁 구조물 및 이의 제조방법
  • 지식재산권[20111117] Through substrate structure, device package having the same, and methods for manufacturing the same
  • 지식재산권[20110325] 미세 탐침 어레이를 구비한 미생물 연료전지
  • 지식재산권[20110224] 기판 관통 연결 구조물 및 이의 제조방법, 기판 관통 연결 구조물을 포함하는 소자의 패키지 및 이의 제조 방법
  • 지식재산권[20101006] 광섬유 기반 LSPR 및 SERS 신호의 동시 측정 센서 시스템
  • 지식재산권[20100913] 미생물 연료전지
  • 학술발표[20210409] 분자 진단을 위한 광섬유 국소화 표면 플라즈몬 공명 센서 침의 제작 및 측정
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  • 학술발표[20200820] 식중독 병원균 검출을 위한 미세입자 분리, 혼합 및 농축용 미세유체 칩의 제작 및 측정
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  • 학술발표[20200116] Fabrication of microfluidic device integrated with PDMS membrane filter
  • 학술발표[20190730] Bioapplication of Fiber Optic Localized Surface Plasmon Resonance Sensor Fabricated by Zinc Oxide Nanowires and Gold Nanoparticles
  • 학술발표[20190710] 딘 흐름과 비대칭 유체의 분할을 이용한 평면 미세유체 믹서
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  • 학술발표[20190406] 유리 재흘림 공정을 이용한 실리콘 기반의 피펫형 패치 클램프 제작
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  • 학술발표[20180405] 진공 패키징 된 전자기력 2축 구동 마이크로 미러의 설계 및 제작
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  • 학술발표[20150624] Implementation of stackable photosynthetic microbial fuel cell structure using stainless steel mesh membrane electrode assembly
  • 학술발표[20150624] Fabrication of microtip electrode array integrated with self-aligned reference electrode
  • 학술발표[20150622] Fiber-optic localized surface plasmon resonance sensor combined with micro fluidic channel
  • 학술발표[20150403] 자기정렬 공정으로 구현된 기준전극을 가지는 마이크로팁 전극 어레이 제작
  • 학술발표[20150403] Nafion 캐스팅 방법으로 제작된 막-전극 접합체를 이용한 미생물 연료 전지
  • 학술발표[20150403] 국소 표면 플라즈몬 공명 바이오 센서를 이용한 면쳑측정에서의 항체 고정 해석법
  • 학술발표[20150403] LIDAR 적용을 위한 전자기력 구동 2 축 스캐닝 마이크로미러의 설계, 제작 및 측정
  • 학술발표[20150211] Fabrication of Micro-Probe Sensor Array using Copper TGV(Through Glass Via)
  • 학술발표[20140717] 간섭에 의해 증강된 국소화 표면 플라즈몬 공명 신호의 측정 및 분석
  • 학술발표[20140717] 개별 세포 어셈블리 구조와 결함된 마이크로팁 전극 어레이 제작
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  • 학술발표[20130617] Novel microfluidic platform with through-polydimethylsiloxane microtip electrode array for on-chip cell analysis
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캠퍼스별 교무팀