기기 세부정보
3-D영상 구축
107배의 확대로 인한 sub-nanometer scale resolution
수평 및 수직 분해능(0.01nm), Noise level(<0.3 RMS in vertical (Z))
시료 전처리 과정이 거의 불필요하며 공기중에서 in situ 영상화
화상 획득 및 처리를 위한 NanoScope IIIa S/W사용
Contact, Tapping, Phase, Amplitude, Lift mode 및MFM mode
Scanner size : 10nm x 10nm(X-Y), 2.5nm(Z), Type : 5250 E
측정Sample Size : Up to 15mm diameter and 5mm thick
S/W : Cross section analysis, Roughness measurement, Grain size
Depth analysis, Histogram analysis, Flatten, Planefit
출처 : 단국대 광에너지소재연구센터 http://www.cpem.re.kr/